筑波大學(xué)開發(fā)出大粒徑鍺結(jié)晶薄膜成長技術(shù) 鍺用量僅為原來的1/100
2014-08-21 11:46:42 來源： 瀏覽次數(shù)：0
（日刊工業(yè)新聞原文 中色協(xié)銦鉍鍺 劉麥譯）由筑波大學(xué)數(shù)理物質(zhì)系都甲薰助教及末益崇教授，共同開發(fā)了在塑料及玻璃等廉價(jià)基板上進(jìn)行的大直徑顆粒鍺結(jié)晶薄膜成長技術(shù)。相比單晶等大塊晶體，薄膜可以在保證同等轉(zhuǎn)換效率的同時(shí)減少至單晶用量的1/100。
耐熱塑料及玻璃上大粒徑鍺薄膜形成成功（筑波大學(xué)提供）
研究團(tuán)隊(duì)以鋁作為觸媒使鍺融化后，并在耐熱性塑料和玻璃的基板上對(duì)其進(jìn)行結(jié)晶化。相比傳統(tǒng)工藝，鍺在鋁液中融化將使得鍺在擴(kuò)散的同時(shí)更容易形成大粒徑。結(jié)晶后的鋁用酸進(jìn)行處理并去除。
該種結(jié)晶與單晶的高品質(zhì)媲美。另外，通常而言，鍺的結(jié)晶成長溫度為500℃的程度的高溫，但在使用鋁觸媒后，大約350℃溫度下就可以使結(jié)晶正常成長。
目前，粒徑100μm的結(jié)晶已形成成功。而用一般的氣相沉積法，僅能制作3μm左右的薄膜。